精餾是多級分離過程，是由揮發度不同的組分所組成的混合液，在精餾塔內同時多次地部分汽化和多次地部分冷凝，使其分離成幾乎純態的過程，也是一種利用回流使氣體或者液體得到高純度分離的蒸餾方法。

　　精餾系統一般主要包括脫低塔、-甲塔、二甲塔和脫高塔等幾個串聯塔和一個間歇精餾塔。主要分離過程為高沸物裂解產物由泵送入脫低塔，在該塔完成低沸點組分(包括三甲基氨硅烷及沸點比三甲基氯硅烷低的組分)與沸點較高的組分(包括-甲基三氨硅烷、二甲基二氨硅烷及高沸物)的分離。在該塔的進料口以上設置有兩個側線采出口，一側線采出口采出一甲含氫產品，二側線采出口采出粗三甲餾分，粗三甲餾分進入間歇精餾塔，回收少量的三甲基一氨硅烷。
 

　　脫低塔塔頂氣相為以氨甲烷為主的輕組分，可以過進一步用冷凍鹽水冷凝回收少量的四甲基硅烷、三氨氫硅和二甲基一氨氫硅。 沸點更低的氣甲烷排放進入吸收系統，脫低后的塔釜產品進入甲塔。甲塔塔頂采出合格的一甲基三氨硅烷產品，塔釜產物進入二甲塔。二甲塔塔釜產品進入脫高塔，二甲塔塔頂產品返回甲塔。脫高塔主要完成二甲基二氨硅烷與高沸物的分離，塔頂采出臺格的二甲基二氨硅烷產品，塔釜為高沸物產品。

　　對于精餾系統，可采用具有較強的模擬量處理能力和回路控制功能、又兼具快速邏輯控制功能及系統實時性相對較好的常規DCS系統作為其控制系統。