激光干涉儀是一種以光波為載體，以光波波長為單位的測量方法，是高精度、高靈敏度的檢測方法，廣泛應用于制造領域。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。

激光干涉儀的使用技巧：

一、Z軸激光光路的快速準直方法。當激光干涉儀用于線性測量時，在Z軸測量中校準激光光路比在X軸和Y軸測量中困難得多。特別是在Z軸距離較長的情況下，往往需要很長時間對激光光路進行準直，才能保證被反射鏡反射回激光探測器的激光束的強度能夠滿足對光強的測量要求。Z軸激光光路快速準直法的具體調整方法是：將Z軸放在較低的位置，用激光器外殼中間的瞄準槽將分束器放在Z軸的正對面，左右移動Z軸觀察激光光路，保證激光轉彎后與Z軸大致平行，將直線鏡和光靶左右移回Z軸，激光打在鏡面光靶上。在激光干涉儀的初始調整之后，固定分光鏡并在其上安裝光靶。“整體"調整準確對準光靶后，移開分光鏡光靶，抬高Z軸，觀察激光對反射鏡光靶的偏離程度。同時，通過“尾部"調整使激光對準反射鏡光靶。如果分光鏡在這個過程中由于“尾巴"調整擋住了部分激光，停止Z軸上升回到開始，重新調整“整體"然后再上升Z軸，繼續調整“尾巴"，觀察激光在反射鏡靶上的偏離程度。重復整個過程，往往幾次，以達到對齊的要求。

二、輔助工具的選擇。雖然激光干涉儀的安裝部件比較齊全，但是在實際使用過程中還需要配置一些額外的輔助工具：1、開發低高度云臺支架。機床工作臺高度的一部分基本與地面平齊，所以在測量Z軸的時候，如果用激光干涉儀原來的三腳架和搖籃把激光放在地面上，肯定會因為三腳架本身的高度而失去測量范圍。2、選擇磁性手表底座。磁臺架是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時要注意。工作臺支架的工作面上應該有螺孔，以安裝鏡頭組的安裝桿，應分別選擇底部和側面有主磁吸附面的兩個桌托。

激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高速度下分辨率高、測量范圍大等優點，結合不同的光學元件，可以實現直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以測試數控機床的動態性能，測試分析機床的振動，分析滾珠絲杠的動態特性，分析驅動系統的響應特性，分析導軌的動態特性等。激光干涉儀具有較高的精度和效率，為機床的誤差修正提供了依據。